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1、臭氧濃度：10～1000±10pphm 2、臭氧濃度偏差:≤10% 3、溫度范圍：RT+10℃～＋80℃ 4、溫度波動度：±0.5℃ 5、溫度均勻度：±2℃ 6、相對濕度：50~90% 7、氣流流速：8mm/s~20mm/s，在范圍內可調

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1、臭氧濃度：10～1000±10pphm 2、臭氧濃度偏差:≤10% 3、溫度范圍：RT+10℃～＋80℃ 4、溫度波動度：±0.5℃ 5、溫度均勻度：±2℃ 6、相對濕度：50~90% 7、氣流流速：8mm/s~20mm/s，在范圍內可調