有效测量行程(X轴×Y轴)：300mm×200mm  

Z轴调焦升降范围：≤200mm  

分辨率：0.001mm  

X、Y轴线性精度：U≤(3+L/200)μm  

载物台尺寸：445mm×345mm  

玻璃台尺寸：330mm×230mm  

承载重量：≤25kg  

影像系统：美国TEO高分辨率1/3"彩色CCD  

物镜：可连续变倍光学放大倍率0.7×-4.5×  

影像放大倍率：20-225×，  

光栅尺：高精度精密光栅尺,分辨率1um  

照明系统：表面光源及透射光源均为LED，亮度可调  

传动方式：精密无牙传动＋P级交叉导轨  

操作方式：摇杆手柄、鼠标拖运、  

主机外形尺寸：700mm×470mm×950mm  

机台底座、工作台、Z轴立柱：高精度花岗岩  

仪器总重：约150kg  

量测软件：光学视觉精密测量测软件  

数据输出：测量数据Word(doc)、Excel(xls)  

物件放大摄像图形(bmp、jpg)、二维图形AutoCAD(dxf)  

简单SPC分析，数据Word(doc格式)、Excel(xls格式)  

数据导入：二维图形AutoCAD(dxf))  

电源：AC220±5V、50Hz  

使用环境：温度20±3℃，湿度35%-65%